1.既然添加铜可以防止铝尖峰现象,为何只添加0.5%?
答:太多铜,会造成蚀刻困难(铜的氯化物不易挥发)
2.为何PVD的靶材需要冷却?
答:避免target表面温度过高,(造成蒸镀现象,使得金属film的质量不稳定)
3.为何机台必须使用冷却水时,必须控制水质纯净?
答:防止结垢,或绝缘
4.PVD和CVD涂层在选择应用上有什么区别?
答
VD相比CVD要薄,CVD的涂层厚度是10~20μm,而PVD的涂层厚度只有3~5μm左右.PVD的处理温度大概在℃左右,而CVD的炉内温度在~℃.由此可见,正因为温度很高,所以CVD对其被处理的材料有耐高温的要求.我们在CVD处理的刀具上几乎看不到除了硬质合金以外的其他材料,因为主流的切削材料中只有硬质合金才能承受那么高的温度.
除此之外,CVD涂层由于其厚度较厚,处理温度较高,在冷却时表面容易产生拉应力,从而形成细微的裂缝.这些裂缝在受到外力冲击的情况下(譬如:铣削)容易扩展,一旦扩展到贯穿整个涂层时就会发生涂层剥落,从而使刀具基体失去涂层的保护.所以,CVD涂层的刀具被大量应用在车削刀片上,因为车削在整个切削过程中,承受的切削力是均匀而且连续的,此时CVD涂层由于厚度带来的耐磨特性就会体现的很明显.
反观,以铣削为代表的断续切削.在切削过程中,刀刃的不断切入切出冲击着涂层及刀具表面.PVD较低的处理温度(℃左右),使它在冷却过程中会形成压应力而非拉应力,从而产生阻止裂缝生成及扩展的效果.另外,由于PVD涂层厚度薄,对刀刃的几何形状改变不大,可以在很大程度上保留了刀刃的锋利程度也减小了切削力和切削热的产生.综上所述,可见PVD更适用于断续的铣削加工的情况以及几乎所有的整体类刀具.
5.为何使用Ar来做PVD溅镀的气体来源?
答:①.钝气,不易起化学变化
②.质量重(AMU40),溅击效果好
③.价格便宜
6.为何机台测漏,喜欢使用氦气来检漏?
答:①氦气在大气中的含量很低,避免误判.
②氦气渗透力强,很容易检漏
③氦气为钝性气体,不易造成机台污染或腐蚀.
7.PVD制程中,镀膜之前为何需要预先去除原始氧化层?
答:预先去除原始氧化层,让金属层之间电阻不会过大以及增加膜与衬底的结合力.
8.为何机台必须使用冷却水?
答:控制温度,以防温度太高,造成机台破坏
9.接触到HF(氢氟酸)该如何急救?
答:①至冲身洗眼器处,大量冲水15分钟以上
②到医务室在患部大量涂抹葡萄酸钙
③由医务室人员判断是否送医
10.接触到强酸或强碱应如何处理?
答:①至冲身洗眼器处,大量冲水15分钟以上(硫酸例外)
②到医务室做适当的处理
③由医务室人员判断是否送医。
